Cn 
Bare Stocker
產(chǎn)品特征
總存儲容量2100裸MASK@2000*2000*3200(W*D*H)
ID獲取方式-RSP ID: RFID&Barcode; OCR: Mask ID
人工/OHT放入閑置窗口，自動開盒
拿取方式-MCS命令或本地終端操作
機臺腔體潔凈度：Class 1
MASK儲位及取放查詢功能
MASK particle 檢測---Option
內(nèi)部氧氣含量監(jiān)測---Option
入口處離子風刀去除MASK上的靜電及particle---Option
相關產(chǎn)品
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