賽瑾產(chǎn)品覆蓋晶圓生產(chǎn)所需的FOUP，RSP等各類光罩盒，Cassette，POD，SMIF，晶圓出貨所需的八角盒，蛋糕盒等。載具相關(guān)的智能化設(shè)備包括EFEM，STOCKER，Reticle Exchange等。